现代传感器的制作工艺包括哪些
发布时间：2017-12-18
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在我们现代很多机械设备中，都会有传感器的出现，像汽车等机械上面都有它的存在，主要起一些感应作用，使用范围比较广，但是也正是因为如此，市场上对于传感器的需求也是不一样的，所以制作厂家都会生产各种类型不一的设备，不同设备使用的制作工艺肯定也是不一样的，接下来我们就来说说现代传感器的制作工艺包括哪些。
1、集成传感器
集成传感器的生产工艺，和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后，可以获得更小的体积并集成更多的功能，部分集成传感器可以拥有一部分处理功能，来处理被测量信号。
2、薄膜传感器
薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术，薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上，用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统，这需要使用到混合工艺。
3、厚膜传感器
厚膜传感器和薄膜传感器相对应，也是在基片上形成膜来进行制造，区别是厚膜传感器是在陶瓷制造的基片上，用敏感材料的浆料进行涂覆。厚膜传感器的制造材料多是氧化铝，涂层形成后进行热处理，这样厚膜即可成型。
4、陶瓷传感器
陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用，陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷，陶瓷传感器的制造主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺，完成适当的预备性操作之后，将成形的元件在高温中进行烧结。
